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从进口到自制
仪器为科技发展之母.早年台湾科技基础条件落后,科学仪器几乎完全依赖进口.在物资匮乏的上世纪60年代,申请动用稀缺的外汇购买昂贵的实验用仪器,可以想象会有多难.史料记载,当时研究人员常常通宵达旦,排队守候在某家拥有实验仪器的研究所门外,就为了能够获得1小时借用仪器的时间.
1967年8月,吴大猷回台就任台湾科技主管部门负责人.作为长期从事实验物理研究的科学家,他不仅深知仪器设备对于科研工作的重要性,而且通晓一般科学仪器的原理构造,抗战时期他在西南联合大学任教时,就曾在简陋的条件下亲手制作实验仪器,从事原子结构及振动光谱的研究,不仅发表了多篇有世界影响的论文,而且培育出像杨振宁、李政道这样的杰出物理学人才.
在吴大猷的提议下,1968年3月,台湾科技主管部门成立科学资料仪器制造供应中心筹设小组.同年9月,在新竹地区清华大学红楼（图书馆）及科仪馆内正式设立科学资料及科学仪器中心,集中从外国购置台湾最紧缺的科技文献资料和贵重仪器设备,然后免费向岛内学术界及企业开放,同时对外提供仪器修理及维护服务.
不久,他们接受岛内一些学校的委托,从自行研制教学用显微镜、真空计开始,逐渐尝试制作简单科学仪器.到1973年,该中心自建一座小型光学工场,用手工抛光方法研磨出一块块透镜,共研制出十余种大学物理实验设备（包括多种核能仪器）及电子教学示范仪器,还协助其他研究机构设计制作质谱仪、惯性导航系统、X光绕射仪、单射仪、中子活化分析设备、电磁振动仪、摄谱仪等特殊仪器设备.当时行政主管部门负责人蒋经国亲自前来视察,还召开岛内首次精密仪器发展座谈会,指示建立全台湾中小学教学仪器修护服务制度.
成立精密仪器发展中心
由于他们的产品逐渐供不应求,台湾科技主管部门在1973年4月对该中心进行改组,把图书资料部分剥离,成立独立的精密仪器发展中心,并迁出清华大学,在台北市南港区中研院内自立门户.此后,该中心进一步研发出多种工业上用重要仪器,如分析金属材质用的光谱仪、切割材料用二氧化碳激光器、光学研究用氖氦激光器及精密示波器,还开始研发医用仪器及600倍至1500倍电子显微镜等光学仪器.
到1980年,他们已建起岛内设备最齐全的实验性光学研磨、光学镀膜及精密机械加工车间,并设立光学标准室、激光实验室和超高真空实验室,开展绕射分光、光波干涉、激光长度测量系统及精密光学元器件等技术研发工作.1983年,台当局将光电列为八大重点科技领域之一,科技主管部门拨出专款,由该中心负责光电组件发展计划,先后研制出复通式高精度分光仪、光学精密定位干涉仪、掺钕钇铝榴石激光器、激光精密测长仪、塞曼稳频激光器等.
随着该中心发展规模越来越大,原有场地不够使用,因此在1987年1月整体迁至新竹科学园区研发六路20号新址,除了开发生产显微投影机、万能投影机和缩影阅读机等仪器外,还协助第一家外资光学仪器公司在新竹园区设厂,帮助培训技术人员.
当时,新竹园区内诞生许多半导体企业,由于集成电路制造设备很多技术都涉及真空和光学仪器,该中心具有实际工作经验的研究人员和工程师顿时炙手可热,甚至整个部门直接被厂商挖走的新闻常常充斥报端.许多大企业所需关键人才都出自该中心,几乎成了岛内各厂商的人才库.
服务高科技产业
上世纪90年代,该中心的任务逐渐由支持学术界调整为服务高科技产业,包括承担兴建同步辐射中心首条光束线装置、研制“中华一号”卫星海洋水色照相仪酬载等任务,积极开发自主光电遥测技术能力,从机载系统开始,一一建立起光学组件设计、杂光分析、光学镜头制造、系统组装测试、航空摄影及空中影像数据处理等各项技术,并自行完成一套和“福卫二号”卫星光电遥测酬载相同,具有4光谱波段的机载多光谱仪、植被及土地变迁观测仪.
在该中心带动下,台湾精密仪器产业也开始发展壮大.到2004年,产值达到240亿元新台币,范围涵盖电子测量、制程控制、光学理化分析、医疗及其他领域.据统计,当时精密仪器企业约有550家,从业人数约2万人,营收约570多亿元新台币,利润约30亿元.
2005年,任台湾科技主管部门将精密仪器发展中心划归财团法人“国研院”,并更名为仪器科技研究中心,承担为台湾精密仪器产业打头阵的角色.台当局“第六次全台科技会议”将微机电及精密机械列为“台湾科学技术发展计划”重点发展领域,台湾经济主管部门制定了精密仪器产业技术发展策略,希望借此建立自主性关键技术的能力,同时支持“两兆双星”等光电产业发展.台湾科技主管部门则将该中心列入到“纳米重点科技计划”的核心设施建立和分享运用体系中,制定了“精密仪器发展中程纲要计划”,推动其建设岛内仪器科技基础平台,以支持前瞻学术研究所需自行开发仪器设备服务,协助促成特色学术领域产生,提升台湾在科学仪器及工业测量仪器技术方面的水准和产品层次,并建立研制卫星遥测酬载系统及关键零组件的基础技术能力.
在上述发展计划的指引下,该中心通过技术引进和自主研发,攻克了一批能有效带动和引领科学仪器行业发展的关键核心工艺技术和核心部件,掌握许多颇具特色的光电系统、真空技术及光机电系统整合等关键核心技术,研制开发出一批重大科学仪器设备,如非球面负形抛光系统、原子层沉积（ALD）系统、光学镀膜监控系统、纳米球模板技术、高真空化学束磊晶系统、晶圆定位线上检测仪、数字式流体晶芯片操控平台、数字显微相机及液晶面板背光模组辉度线上全检仪等9种仪器系统.其中背光模组辉度线上全检仪为全球首创,这种仪器可取代当时欧、美、日的离线检测设备,其检测速度比日本设备快30倍以上,推出后即促成岛内液晶面板业获得2亿元新台币以上的大笔订单.
近年来,该中心先后研制出VCDi-660植被和土地变迁观测仪、卫星影像高光谱仪、30英寸BLU大型光源辉度和色度测量仪、视讯MTF检测仪、自由基检测仪和多功能生化检测仪、12英寸原子层沉积系统、标准型脉冲激光沉积系统、CMOS光吸收微型分子生物检测系统、光学透镜偏心测量仪、智慧型光谱影像系统、显微镜自动对焦系统、“福卫5号”卫星主镜等专业仪器设备.
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参考文献：
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